elipsometr

Elipsometr FS-1UV

Elipsometr

Vícepásmový elipsometr
  • 6 vlnových délek, spektrální rozsah, 280 – 660 nm
  • Kompaktní optika: zdroj 137 x 80 x 60 mm, detektor 110 x 80 x 60 mm
  • Vlnové délky v UV rozsahu (280 a 305 nm) pro měření polovodičů s optickými konstantami nad zakázaným pásmem
  • Vlnové délky v rozsahu UV ­ vylepšený kontrast indexu lomu u transparentních podkladů a vrstev

 Konfigurace pro měření ex-situ

  • Úhel dopadu: 65°
  • Manuální umístění vzorku a nastavení výšky
  • Vzorky do průměru 200 mm a tloušťky 20 mm
  • Možnost naklonění vzorku v rozsahu ±2°
  • Velikost svazku na vzorku: 4 x 9 mm (volitelně 0,8 x 1,9 mm nebo 0,3 x 0,7 mm)
  • Kompaktní rozměry: 180 x 400 mm, 4,8 kg

elipsometr

Software Film Sense registruje a provádí analýzu elipsometrických dat a následně poskytuje parametry vrstvy ­ tloušťku, index lomu atd. Software Film Sense je integrován do zařízení a je ovládán prostřednictvím rozhraní ve standardním webovém prohlížeči. Každý stolní počítač, notebook nebo tablet s nainstalovaným moderním webovým prohlížečem (Windows, Mac OS X, Linux, iOS, Android) může provozovat elipsometr Film Sense pomocí ethernetového připojení (není vyžadován přístup k internetu ani k síti). Hlavní výhodou rozhraní webového prohlížeče je, že není nutná žádná instalace softwaru, což výrazně zjednodušuje konfiguraci a provoz elipsometrů Film Sense.

Softwarové funkce

  • Režimy analýzy dat: standardní, vícevrstvé in situ, vícevzorkové, trajektorie a blízký povrch.
  • Až 10 modelových vrstev s volitelnou drsností povrchu a korekcí zadní strany substrátu.
  • Rozsah parametrů a počáteční přírůstky pro zlepšení konvergence přizpůsobení parametrů.
  • Bruggmanova efektivní střední aproximace pro smíšené materiály a pro vrstvy graded-index (GRIN).
  • Disperzní modely Cauchyho, Sellmeierův, Lorentzův, Drudeho, Tauc-Lorentzův a Multi-Osc.
  • Databáze optických konstant závislých na teplotě nebo složení.
  • Data depolarizace nebo intenzity transmise lze kombinovat s analýzou dat z vícepásmových měření.
  • Simulace jednotlivého měření nebo dynamických dat a vykreslování Fit Diff hodnota parametru.

 

 

Možnosti elipsometru in situ

  • Integrace se systémy pro depozice tenkých vrstev a leptání.
  • Moznost využití s většinou technik depozice tenkých vrstev a leptání: naprašování, ALD, ALE, MBE, CVD, PLD atd.
  • Stanovení konstant n & k, rychlosti depozice za různých podmínek procesu bez porušení vakua.
  • Přesnost měření v rozsahu subnanometrů.
  • Monitorování a kontrola depozice vícevrstvých povlaků.
  • Rozhraní FS-API pro ovládání pomocí externího softwaru (kompatibilní s LabVIEW).

Elipsometr in situ – vlastnosti:

  • Zdroj světla LED a detektor bez pohyblivých částí – spolehlivý provoz a rychlé měření.
  • Kompaktní a lehký zdroj a jednotka detektoru (každý cca 1 kg).
  • Volitelné adaptéry pro montáž na standardní příruby CF 2,75″nebo 1,33″, se snadno nastavitelným stupněm hrubého a jemného náklonu.
  • Pokročilé softwarové funkce pro vizualizaci a analýzu dynamických elipsometrických dat.