FilmSense_logo

Vícepásmové elipsometry Film sense jsou kompaktní, cenově dostupná a snadno použitelná zařízení vybavená zdrojem světla LED s dlouhou životností (4 nebo 6 různých vlnových délek) a detektorem PSD (Polarization State Detector) bez pohyblivých částí. Toto řešení zajišťuje extrémně krátkou dobu měření až 10 ms pro všechny vlnové délky a vysokou stabilitu měřicího systému po dlouhou dobu. Díky tomu lze elipsometry Film sense integrovat s vakuovými systémy, jako jsou ALD, PVD, CVD, což umožňuje přesné a rychlé měření in situ. Elipsometry umožňují určit tloušťku vrstev a index lomu s velmi vysokou přesností. Kromě toho je u mnoha materiálů možné stanovit optické konstanty n & k a další vlastnosti vrstvy, jako je drsnost. Vícepásmové elipsometry jsou ideálním řešením pro přesná měření tenkých vrstev ve výzkumných laboratořích a průmyslových odděleních kontroly kvality

Vícepásmové elipsometry

Vícepásmové elipsometry pro měření tenkých vrstev ex-situ a in-situ