Termální odpařování EVAD

Termální odpařování

Termální odpařování

Řada EVAD je určena k odpařování kovů, dielektrických materiálů a organických materiálů termálně nebo pomocí elektronových paprsků (E-beam), pro depozice tenkých vrstev nebo epitaxního růstu materiálů.

Systémy v samostatné nebo stolní konfiguraci jsou pod kontrolou pokročilého softwaru, který umožňuje přesnou kontrolu tloušťky vrstvy. Pro depozice organických vrstev je zde možnost integrace s rukavicovou komorou Glovebox.

 

Volba metody odpařování závisí mimo jiné na teplotě odpařování použitého materiálu

  • Depoziční cely pro odpařování až do 1800 °C
  • Nízkoteplotní efuzní cely pro organické materiály
  • Výběr cely a rozsah teplot odpařování podle použitých materiálů
  • Přesné monitorování teploty a PID regulace
  • Rolety s ručním nebo automatickým ovládáním
  • Odpařování E-beam – zdroje s jedním nebo více kapsami