Pulzní laserová depozice (PLD) GLAZE

Pulzní laserová depozice (PLD)

Pulzní laserová depozice (PLD) GLAZE

Řada GLAZE pro pulzní laserovou depozici (PLD) je určena pro pokročilé aplikace syntézy tenkých vrstev. Výhodou metody PLD je její jednoduchost a schopnost udržovat často složitou stechiometrii materiálu terče v deponované vrstvě.

Metoda PLD využívá energii laserového paprsku k odpařování pevného cílového materiálu. K řízení struktury vrstvy lze použít pulzní časy od femtosekund po nanosekundy.

Metoda hybridního magnetronu PLD vyvinutá společností Plasmionique kombinuje nízkoenergetické laserové pulzy s magnetronovým výbojem. To vám umožní snížit procesní tlak, zvýšit efektivitu aplikace a zlepšit hustotu a hladkost deponované vrstvy.

Více informací i: Zde