Kompaktní stolní systémy PVD / CVD

Kompaktní stolní systémy PVD / CVD

Kompaktní stolní systémy PVD / CVD

Kompaktní stolní systémy Plasmionique jsou řadou flexibilních výzkumných systému, které mohou integrovat všechny funkce velkých systémů PVD a PECVD, včetně automatizace procesů, registrace dat a vzdáleného přístupu. Systémy tabletop lze integrovat do rukavicové komory pro procesy citlivé na kyslík a vodu.

Příklady možné konfigurace:

PVD:

  • Kulaté terče 1″ – 3″, vodivé nebo dielektrické
  • Vyvážené nebo nevyvážené magnetrony
  • Zdroj RF nebo DC
  • Vodní chlazení
  • Tepelné odpařování: vysokoteplotní cely, knudsenovy efusní cely
  • Hybridní PVD – kombinace magnetronových zdrojů a tepelného odpařování

CVD

  • Reaktor ICP nebo CCP
  • RF 13,56 MHz, kontinuální nebo pulzní
  • Určené použití – procesy PECVD nebo procesy leptání