Horizontální pece CVD

Horizontální pece CVD

Horizontální pece CVD lze konfigurovat s jednou nebo více topnými zónami. V kombinaci se systémem přívodů plynů, par a tekutých prekurzorů FLOCON je to velmi flexibilní a univerzální platforma pro depozice tenkých vrstev a možnost naklápění pece usnadňuje nakládání a vykládání prášků.

 

Pec lze vybavit zdrojem vzdálené plazmy ICP PLUME, což umožní provádět procesy PE-CVD na velkých plochách