atomic layer deposition

Reaktor ALD R-200 Advanced

Reaktor ALD a PEALD

Pokročilý reaktor PICOSUN® R-200 advanced umožňuje tepelné a plazmové procesy (PE-ALD)

Pokročilý reaktor PICOSUN® R-200 advanced umožňuje tepelné a plazmové procesy (PE-ALD)

Reaktor ALD PICOSUN® R-200 je určen pro výzkum a vývoj v mnoha oblastech, jako jsou komponenty IC, zařízení MEMS, displeje, LED, lasery a podklady 3D, optické vrstvy, ale také pro depozici ochranných vrstev na šperky, mince a lékařské implantáty.

HLAVNÍ VLASTNOSTI:

  • Unikátní řešení zajišťující nejvyšší čistotu procesu a uniformitu vrstev
  • Nezávislé přívody prekurzoru do komory
  • Univerzální komora pro všechny typy substrátů
  • Rovnoměrná teplota v celém objemu reakční komory
  • Vzdálený zdroj plazmatu ICP nebo mikrovlny (MW)
  • Jednoduché ovládání pomocí počítače s dotykovou obrazovkou

TYPICKÉ PODKLADY:

(Depozice na všech typech substrátů v jedné univerzální reakční komoře)

  • Jednotlivé ploché podklady s průměrem až 200 mm
  • Křemíkové články 156 mm x 156 mm
  • Podklady 3D (např. implantáty) vysoké více než 120 mm
  • Prášky, částice, nanočástice
  • Mini šarže substrátů 8 x 200 mm
  • Porézní, plně porézní substráty a substráty s vysokým HAR (až 1:2500)

TEPLOTA PROCESU

50 – 500 °C, 450 °C se zdrojem plazmatu (650 °C s dodatečným vyhřívaným držákem vzorků)

TYPICKÉ PROCESY

  • Oxidy: Al2O3, TiO2, SiO2, Ta205, HfO2, ZnO, Zr02
  • Nitridy: TiN, AlN
  • Kovy: Pt, Ir, Ru

VKLÁDANÍ SUBSTRÁTU

  • Vkládaní substrátů shora (pneumatické otevíraní poklopu reaktoru)
  • Přechodová komora (load-lock)
  • Poloautomatické vkládaní substrátů pomocí robota
  • Kazetové vkládaní substrátů v klastru

PREKURZORY

  • Do 12 zdrojů prekurzorů (tekuté, plynné, pevné, ozon)
  • 4 nezávislé přívody do komory

MOŽNOSTI ROZŠÍŘENÍ

  • Zesilovač difúze Picoflow™ pro povrchové úpravy materiálů s vysokým HAR, porézní a skrz porézní materiály bez omezení velikosti, typu substrátu a procesní teploty
  • Integrace s rukavicovou komorou pro vkládání všech typů substrátů v atmosféře inertního plynu
  • Hmotnostní spektrometr (RGA)
  • Generátor ozonu
  • Generátor dusíku
  • Krystalová mikrováha
  • Integrovaný laserový elipsometr